GAKUSEE

半導体チップの複雑な回路パターンを、ガラス基板の上に精密に描きます。回路設計のデータをもとに、電子ビームやレーザーを使って、ナノメートル単位の精度で遮光膜をパターン化します。このフォトマスクは、ウェーハに回路を焼き付けるための「原版」として使われます。