GAKUSEE

各製造工程で付着する目に見えない微細なゴミや不純物を、薬品や超純水を使って徹底的に取り除く作業です。洗浄後は、ウェーハ表面に水分が残ると品質に悪影響が出るため、遠心力で振り飛ばしたり、揮発性の高いアルコール蒸気で水分を置換したりして、完全に乾燥させます。