GAKUSEE

ウェーハ上に電気を通す金属や、電気を遮断する絶縁体などのごく薄い膜を作る工程です。膜の材料となるガスを吹き付け化学反応で膜を形成する「CVD」や、金属の塊にイオンをぶつけて原子を飛び散らせ、ウェーハに付着させる「スパッタリング」など、様々な方法があります。