GAKUSEE

ウェーハの表面を、平らで鏡のように滑らかに仕上げる工程です。物理的な力で削る研磨材と、表面を溶かす薬品を組み合わせた「化学機械研磨（CMP）」という方法がよく使われます。この工程によって、微細な凹凸がなくなり、後の工程で回路を正確に形成できるようになります。